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[期刊论文] 作者:陈立登,赵松宏, 来源:科技通报 年份:1989
运用邻位面台阶化概念,推导出直拉无位错硅单晶横截面周界方程。阐述了无位错硅单晶的“鼓苞”机理,理论值与实验符合良好。...
[会议论文] 作者:陈修治,赵松宏, 来源:第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 年份:1997
[期刊论文] 作者:陈立登, 赵松宏, 张民杰,, 来源:科技通报 年份:1989
运用邻位面台阶化概念,推导出直拉无位错硅单晶横截面周界方程。阐述了无位错硅单晶的“鼓苞”机理,理论值与实验符合良好。...
[会议论文] 作者:沈益军,赵松宏,肖世豪,杨光宇, 来源:1998年全国半导体硅材料学术会议 年份:1998
在大直径硅单晶生长中,直径控制是十分关键的,它直接影响单晶的成品率。影响直径控制好坏的因素很多,而保护气氛的种类、流量和压力等是影响直径控制的重要因素。采用浙江大学的......
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