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[会议论文] 作者：赵武;张志勇;闫军锋;贠江妮;翟春雪;,
来源：2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 年份：2013
以硫代氨基脲作为低温辅助剂,硅粉为硅源,叠氮化钠为氮源,采用溶剂热法在低温180℃合成α相氮化硅籽晶体.对所制备样品进行X射线衍射(XRD)、傅立叶红外光谱(FTIR)、X射线光电...
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