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[期刊论文] 作者:车啸婷,王振宇,管轶华,郜晚蕾,金庆辉, 来源:传感器与微系统 年份:2022
面向液体低流速测量应用需求,基于介质热传递工作原理,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以玻璃为衬底的微纳热分布式流速传感器,加热和测温元件均采用铂电阻,传感器芯片尺寸仅为10 mm×10 mm,测温电阻与中心加热电阻的间距为0.8 mm,完成了芯片的封装及测......
[期刊论文] 作者:车啸婷,贾治森,王振宇,管轶华,郜晚蕾,金庆辉,, 来源:微纳电子技术 年份:2021
设计并仿真了一种利用介质热传递原理工作的流速传感器,适用于低流速区域的海洋洋流/潜流流速测量。通过物理场仿真软件COMSOL对传感器进行了热-流体的耦合场模拟仿真分析,验证了设计传感器的可行性。采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以玻璃为衬底的微纳......
[期刊论文] 作者:王振宇,管轶华,尹加文,车啸婷,郜晚蕾,金庆辉, 来源:中国科学(信息科学) 年份:2022
海洋传感器技术在海洋军事作战领域发挥着重要的作用,随着人类探索海洋的未知领域,海洋传感器技术逐渐发展,但现阶段发展不完全,主要依赖进口,国产化率低.海水的温度、盐度、深度(温盐深)是海洋环境测量的基本参数,目前国内温盐深三参数传感器体积大、设备复杂......
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