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[期刊论文] 作者：李以贵,远藤哲生,羽根一博,
来源：光学学报 年份：2003
对投影型微光学编码器的原理进行了分析 ,结合微机电系统集成技术 ,提出并实现了投影型微光学编码器。它是利用微机电系统集成技术将标尺光栅、指示光栅、光电二极管集成化构...
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