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[期刊论文] 作者：邢作清, 耿庆芬,,
来源：光学机械 年份：1979
利用聚焦的CO2激光束作为热源照射电介质、半导体、金属和某些有机物质,使其蒸发然后形成薄膜。实验表明,用这种方法所制备的薄膜要比电阻加热蒸发和电子枪蒸发所制备的...
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