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[学位论文] 作者：郑英彬,,
来源：中国工程物理研究院北京研究生部 年份：2002
静电伺服微加速度计的工作原理实际上是基于静电反馈力矩和弹性梁的弹性力矩与惯性力矩的平衡，精确的设计有必要建立静电与机械的耦合分析方法，对实体模型进行耦合场分析。...
[期刊论文] 作者：郑英彬,,
来源：宁波大学学报(理工版) 年份：2008
在分析蓝牙设备工作的基本原理、基于蓝牙传输的常用协议及使用蓝牙连接的设备子系统工作方式的基础上，结合手机的应用特点，阐述了一种新颖、低成本的多功能蓝牙手机配件的设计......
[期刊论文] 作者：陈颖慧,张慧,郑英彬,,
来源：太赫兹科学与电子信息学报 年份：2016
为使声表面波（SAW）滤波器技术向更高的频段发展，对SAW滤波器的基础理论进行了分析：展示了压电材料压电效应（逆压电效应）的产生机理，并通过例子对比说明压电材料的晶体结构属性。介绍......
[期刊论文] 作者：郑英彬,苏伟,何晓平,
来源：传感器技术 年份：2002
为了对微加速度计进行静电-机械耦合场分析,利用ANSYS软件及它的编程语言APDL实现了有限元耦合场分析.作为实例,选择一种尺寸的叉指式微加速度计,分析了它的灵敏度,其结果同...
[期刊论文] 作者：崔博华,王成,郑英彬,
来源：第一届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会 年份：2012
本文对太赫兹MEMS滤波器进行了简单介绍并分析了对其性能造成影响的参数，且对这些参数的工艺误差进行了仿真。结合了设计仿真与工艺结果并进行整体分析，提出有效的解决方案......
[会议论文] 作者：郑英彬,许献国,高杨,
来源：第九届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术年会 年份：2007
电离辐射在硅微加速度计梳指结构的绝缘层中产生俘获电荷,使微加速度计的输出产生漂移,这种辐射效应可以用梳指结构中的附加静电力来表示.研究用通用有限元软件ANSYS计算附加...
[会议论文] 作者：郑英彬;许献国;高杨;,
来源：第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会 年份：2008
电离辐射在微加速度计的绝缘层中产生俘获电荷，该俘获电荷在微加速度计敏感单元中产生了一个附加静电力，研究用ANSYS软件计算这个附加静电力的原理和方法。计算了不同俘获电荷......
[会议论文] 作者：武蕊,郑英彬,袁明权,
来源：全国信息与电子工程第四届学术年会暨四川省电子学会曙光分会第十五届学术年会 年份：2010
采用UV-LIGA技术制作微齿轮的关键是获得高质量的胶膜结构。运用SU8和ARP3220两种光刻胶进行大量工艺试验，均获得厚度大于50μm的光刻胶膜微齿轮结构，为后续微电铸成型微齿轮提...
[期刊论文] 作者：陈颖慧,高杨,郑英彬,赵兴海,,
来源：微纳电子技术 年份：2012
通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波...
[期刊论文] 作者：陈颖慧,高杨,郑英彬,赵兴海,,
来源：微纳电子技术 年份：2012
研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对...
[期刊论文] 作者：杜亦佳,鲍景富,赵兴海,郑英彬,,
来源：电子与信息学报 年份：2012
该文提出应用微加工（Micromachining）技术设计制作太赫兹6阶并联电感耦合波导带通滤波器的方法。立足于现有工艺条件,通过分析加工因素对滤波器电磁性能的影响,将工艺和设计参...
[期刊论文] 作者：贾小慧,高杨,郑英彬,柏鹭,,
来源：信息与电子工程 年份：2011
设计了一种五位分布式微电子机械系统（MEMS）移相器,通过分析对比传统分布式MEMS移相器加载直流偏置的两种方式,提出了一种新的直流偏置的加载方式,能解决传统方式带来的交直流...
[期刊论文] 作者：陈光焱,郑英彬,赵龙,武蕊,
来源：传感技术学报 年份：2006
基于双稳态机构精密定位特性，提出一种惯性力致动双稳态开关方案．该双稳态开关由四个初始形态为余弦形的悬臂梁及其支撑的质量块构成，质量块敏感阈值加速度后跳变到另一稳态，与触......
[期刊论文] 作者：高杨,柏鹭,郑英彬,张茜梅,秦燃,,
来源：微纳电子技术 年份：2011
设计了一款4位MEMS开关线式移相器,由SP4TMEMS开关和微带传输线构成,工作于X波段。单刀四掷(single pole 4throw,SP4T)开关用于切换两条不同电长度的信号通道,即参考相位通道...
[期刊论文] 作者：柏鹭,高杨,郑英彬,贾小慧,王强,,
来源：微纳电子技术 年份：2011
报道了一款用于X波段的悬臂梁接触式RF MEMS串联开关的微加工工艺设计。首先,介绍了该悬臂梁接触式MEMS串联开关的基本工作原理;然后,简单描述了其结构组成和尺寸参数;最后,...
[期刊论文] 作者：赵兴海,鲍景富,杜亦佳,高杨,郑英彬,,
来源：传感器与微系统 年份：2011
太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率成像和高性能通讯等应用前景良好。太赫兹技术处于电子学与光子学领域的交叉领域,太赫兹器件的尺寸在数十微米到毫米量级,传...
[期刊论文] 作者：赵兴海,李玉萍,郑英彬,高杨,贾晓慧,
来源：传感技术学报 年份：2012
研究了RFMEMS开关的制造工艺流程和聚酰亚胺牺牲层的去除工艺。在开关的设计和加工中采用在信号线两侧的地线上生长一层绝缘介质层，直流偏置线生成在绝缘介质层之上，与桥的锚点......
[期刊论文] 作者：邓成,鲍景富,杜亦佳,凌源,赵兴海,郑英彬,,
来源：微纳电子技术 年份：2012
针对传统多位分布式MEMS传输线(DMTL)移相器需要多个偏置电压控制的问题,提出了一种单电压控制多位DMTL移相器的设计方案。这种移相器的每一位具有不同的弹性系数,因此它们的...
[期刊论文] 作者：邓成,鲍景富,凌源,杜亦佳,赵兴海,郑英彬,,
来源：微纳电子技术 年份：2012
针对RF MEMS开关释放时间过长的问题,提出了一种电压控制方法有效地缩短了开关的释放时间,提高了开关的速度。这种方法无需修改器件设计,仅需要调整偏置电压变化形式,用线性...
[期刊论文] 作者：陈颖慧,施志贵,郑英彬,王旭光,张慧,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2015
采用金属过渡层来实现硅-硅低温键合,首先介绍了选择钛金作为金属过渡层的原因和金硅共晶键合的基本原理,然后探索了不同键合面积和不同金层厚度对金硅共晶键合质量的影响规...
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