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电离辐射在硅微加速度计梳指结构的绝缘层中产生俘获电荷,使微加速度计的输出产生漂移,这种辐射效应可以用梳指结构中的附加静电力来表示.研究用通用有限元软件ANSYS计算附加静电力的方法,并且进行了仿真分析,根据计算结果,对比分析两种硅微加速度计的辐射效应,研究绝缘层与敏感单元间距对附加静电力的影响.