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[期刊论文] 作者：袁果,黎建明,张树玉,刘伟,闫兰琴,,
来源：功能材料与器件学报 年份：2011
采用射频磁控反应溅射法在k9玻璃衬底上制备了In2O3：Mo（IMO）透明导电薄膜,分析了不同氧分压条件下IMO薄膜的晶体结构、化学成分及光电性能。结果表明：不同氧分压下制备的IMO薄膜......
[期刊论文] 作者：刘伟,苏小平,张树玉,闫兰琴,王宏斌,刘嘉禾,
来源：人工晶体学报 年份：2009
采用射频磁控反应溅射法在不同氧分压条件下制备了氮氧化铪薄膜,薄膜沉积过程在氧气、氮气和氩气的混合气氛中进行,所用衬底为多光谱硫化锌材料。用X射线衍射、扫描电子显微...
[期刊论文] 作者：闫兰琴, 张树玉, 黎建明, 杨海, 苏小平, 余怀之, 刘,
来源：激光与红外 年份：2009
简要叙述了7～14μm波段红外增透膜的膜料选择以及硒化锌基底上高性能红外增透膜的设计和工艺研究。介绍了离子辅助沉积技术沉积该膜的的工艺过程。给出了用该方法制备的7—14...
[期刊论文] 作者：闫兰琴,张树玉,刘伟,刘嘉禾,袁果,黎建明,杨海,苏小平,,
来源：红外与激光工程 年份：2010
为了提高Ge基底的红外光能量的透过率和膜层的机械强度,对Ge基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究。介绍了红外宽带减反射膜的合理的膜料选择、膜系设...
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