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[期刊论文] 作者：闻瑞梅,,
来源：电子学报 年份：2000
本文介绍了在半导体工业废水、废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物、重金属及各种酸的综合治理方法、工艺流程和设备 ,用中和絮凝沉降一体化装置 ,利用共生沉淀的原理处理废...
[期刊论文] 作者：闻瑞梅,,
来源：化学试剂 年份：1992
介绍了大规模集成电路对所用化学试剂和高纯水的要求。如快扩散杂质、碱金属、细菌、二氧化硅、总有机碳及颗粒等。对高纯水和化学试剂中不同的杂质在集成电路中的影响进行了...
[期刊论文] 作者：闻瑞梅,
来源：电子学报 年份：1993
本文阐述了高纯水、高纯气和高纯化学试剂的质量对兆位电路的影响,研究了高纯水中颗粒、金属、非金属、细菌以及总有机炭对VLSI性能的影响,研究了半导体器件工艺中氯化氢、氨...
[期刊论文] 作者：闻瑞梅,
来源：低温与特气 年份：1991
叙述了大规模集成电路的发展,包括线宽、管芯面积与制造工艺对特种气体中尘埃数和粒径的要求、颗粒与成品率的关系,以及在不同级别洁净室中生产器件对成品率的影响。详细介绍...
[期刊论文] 作者：闻瑞梅,
来源：半导体学报 年份：1997
本文研究了一种快速、灵敏、可靠的高温氢还原—气相色谱分析方法，样品不需预处理，使气相色谱仪能直接测定固、液、气相样品中砷、磷及其化合物的含量．砷、磷的检测限分别为0．01m......
[期刊论文] 作者：闻瑞梅,,
来源：水处理技术 年份：1993
本文介绍了兆位电路与高纯水的关系,集成电路对水质的要求,以及降低水中TOC(总有机炭)的措施,并介绍了用于高纯水制造的 PVDF(聚偏氟乙烯)新型材料的性能,以及用臭氧杀菌等技...
[期刊论文] 作者：闻瑞梅,
来源：电子学报 年份：2008
本文涉及水处理过程所用的过滤器成组反洗自动控制技术．设定自动反洗四个条件：浓水量、分流水量、源水的污染指数和多并联过滤器的台数．通过控制器进行在线检测，及时获得上述数据......
[期刊论文] 作者：闻瑞梅,
来源：中国工程科学 年份：2000
论述了超大规模集成电路与高纯水的关系以及对水质的要求，研究了高纯水制备的几个关键新技术及提高高纯水质量的方法，该方法能有效地降低高纯水中的总有机碳、细菌、细菌内毒素......
[会议论文] 作者：闻瑞梅,
来源：第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会 年份：1997
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[会议论文] 作者：闻瑞梅,
来源：第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会 年份：1997
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[会议论文] 作者：闻瑞梅,
来源：第六届全国固体薄膜学术会议 年份：1998
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[会议论文] 作者：闻瑞梅,
来源：第五届全国固体薄膜学术会议 年份：1996
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[会议论文] 作者：闻瑞梅,
来源：第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份：1999
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[会议论文] 作者：闻瑞梅;,
来源：全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议 年份：1998
该文研究了，以低压复合膜CPA2膜或NTR759膜，和超低压复合膜ESPA膜为例：它们有大的比表面积，操作压力低，产水量大，脱盐率，脱硅率高等优点。同时介绍了ESPA超低压膜主要特点。文中还列......
[期刊论文] 作者：闻瑞梅,
来源：电子学报 年份：1992
由中国科学院半导体研究所与北京特种气体研究所共同对电子工业常用的8种电子级气体中六大类28种杂质进行了全面分析研究和质量控制。本工作始于1980年,现已获得了国际上领...
[期刊论文] 作者：闻瑞梅,岩博,
来源：洁净与空调技术 年份：1995
【正】 前言 众所周知,反渗透用于纯水制备已日趋广泛,早期是用醋酸纤维(CA)膜,由于PH范围窄、脱盐率不高、寿命不长、操作压力高、对进水要求苛刻等缺点,现普遍采用TFC(复合...
[期刊论文] 作者：闻瑞梅,陈胜利,
来源：电子学报 年份：2001
本文介绍了溶解氧(DO)以及总有机碳(TOC)对超大规模集成电路(ULSI)用水的污染,并列出了高纯水中TOC的浓度与栅氧化缺陷密度的关系数据.研究了影响水中DO的因素以及用各种方法...
[期刊论文] 作者：闻瑞梅,陈朗星,
来源：分析测试技术与仪器 年份：1995
测定固、液相样品中磷及其化合物的新方法是将待测样品中的磷及其化合物分解并被原子氢还原为ＰＨ３，再用气相色谱仪测定。该方法不需化学预处理，快速、灵敏、可靠，测定结果与分光光度......
[期刊论文] 作者：闻瑞梅,葛伟伟,,
来源：电子学报 年份：2007
研究185nmUV对二苯甲酮浓度的降低和TOC(Total Organic Carbon)的去除方法.用185nm紫外及254nm紫外对光刻废水中二苯甲酮处理效果的对比.同时还研究了废水中二苯甲酮的降解过...
[期刊论文] 作者：闻瑞梅, 杜国栋,,
来源：中国工程科学 年份：2001
针对半导体材料、器件生产工艺中的废气和废水的治理,介绍了三种不同的方法和相关设备.①利用碘盐、铜盐和锰盐以及多级逆向喷淋的设备对实验室MOVPE工艺尾气及砷化镓材料制...
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