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[会议论文] 作者：陈光华[1]郭永平[2],
来源：'96中国材料研讨会 年份：1996
用热丝增强射频等离子体ＣＶＤ法，在Ｓｉ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｍｏ人工合成金刚石薄膜和不锈钢等多种衬底材料上，生长出立方氮化硼薄膜。用Ｘ射线衍射谱和傅立叶转换红外谱对样品的结构和成份进行了分析；并......
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