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[会议论文] 作者:胡振宇,張淑美,莊賦祥,余濟美,蔡裕勝,陳冠志, 来源:第十四届全国太阳能光化学与光催化学术会议 年份:2014
本研究以不同電位相位差(180°)之雙電極推拉式電漿激發化學氣相沉積(Push-PullPECVD)法沉積二氧化鈦薄膜(如圖1),利用氬氣(20 sccm)輸送四異丙基鈦酸酯(Ti(OC3H7)4)之蒸氣,以氧氣(20 sccm)當電漿激發氣體產生反應,沉積二氧化鈦觸媒薄膜於不銹鋼及玻璃基板上,主要改......
[会议论文] 作者:胡振宇[1]張淑美[2]莊賦祥[1]余濟美[3]蔡裕勝[1]陳冠志[1], 来源:第十四届全国太阳能光化学与光催化学术会议 年份:2014
  本研究以不同電位相位差(180°)之雙電極推拉式電漿激發化學氣相沉積(Push-PullPECVD)法沉積二氧化鈦薄膜(如圖1),利用氬氣(20 sccm)輸送四異丙基鈦酸酯(Ti(OC3H7)4)之蒸...
[会议论文] 作者:胡振宇,陳肇和,朱維屏,張淑美,莊賦祥,洪鵬翔,陳冠志,余清美, 来源:第十三届全国太阳能光化学与光催化学术会议 年份:2012
  本研究以电浆激发化学气相沉积(PECVD)法沉积二氧化钛薄膜,利用氬气(100 sccm)输送四异丙基钛酸酯(Ti (OC3H7)4)之蒸气,以氧气(15 sccm)当电浆激发气体产生反应,沉积二氧化...
[会议论文] 作者:胡振宇,陳肇和,張淑美,莊賦祥,余清美,洪鵬翔,陳冠志,朱維屏, 来源:第十三届全国太阳能光化学与光催化学术会议 年份:2012
本研究以电浆激发化学气相沉积(PECVD)法沉积二氧化钛薄膜,利用氬气(100 sccm)输送四异丙基钛酸酯(Ti (OC3H7)4)之蒸气,以氧气(15 sccm)当电浆激发气体产生反应,沉积二氧化钛触媒薄膜於玻璃)基板上,主要改变不同电浆电源功率(200~300 W),以提升光触媒薄膜特性,接著利用......
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