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[会议论文] 作者：雷啸锋,刘泽文,李志坚,
来源：第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 年份：2003
本文报道了用于释放聚酰亚胺牺牲层的氧气等离子体刻蚀工艺.研究了材料特性、工艺条件对刻蚀速度和释放结果的影响.结果表明,PI-5型聚酰亚胺在纯O等离子体刻蚀条件下存在"微...
[期刊论文] 作者：张继楷,杨芸,康宜华,雷啸锋,,
来源：无损检测 年份：2016
隧道磁敏电阻(TMR)具有精度高、频响快、线性范围宽、功耗小等优点,在电磁无损检测中有望得到广泛应用。基于这一新型的传感器技术,有望开创新的无损检测方法。为此,介绍了TM...
[期刊论文] 作者：雷啸锋,刘泽文,李志坚,刘理天,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2007
给出了改进的电容式开关等效电路模型以及基于该电路模型的一种新型的多频段工作的电容式RFMEMS开关的设计和制作研究。分析表明，当开关的上电极为多支撑梁结构时，需要对传统的......
[会议论文] 作者：雷啸锋,刘泽文,李志坚,刘理天,
来源：第一届全国纳米技术与应用学术会议 年份：2000
为了获得高性能RF-MEMS开关，该文对桥式RF-MEMS开关进行深入的静电与力学分析，得到了相关模型与公式，在此基础上讨论了器件几何结构参数、材料的力学和电学特性对开关参数的影响......
[期刊论文] 作者：刘泽文,宣云,雷啸锋,李志坚,刘理天,
来源：光学精密工程 年份：2005
设计并实现了基于高阻硅RF-MEMS(射频-微机电系统)共面波导传输线(CWP), 并测量和分析了不同偏压下的特征阻抗值.利用部分电容法和保角变换法得到的分析公式确定了特征阻抗为...
[期刊论文] 作者：雷啸锋,刘泽文,宣云,李志坚,刘理天,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
本文报道了一种电容式MEMS开关的制作工艺.所有的步骤都采用表面微加工工艺完成.其中,区别于常规采用的SiN薄膜,我们采用了高介电常数的BaSrTiO(BST)铁电薄膜作为开关的介电...
[期刊论文] 作者：宣云,刘泽文,雷啸锋,李志坚,刘理天,
来源：微细加工技术 年份：2005
介绍了一种新型斜拉梁结构的电容耦合式开关的制作.该开关的上电极采用斜拉梁支撑结构以提高上电极的平整性和开关整体的可靠性,通过优化开关的结构,将开关的谐振点频率降低...
[期刊论文] 作者：雷啸锋,刘泽文,宣云,韦嘉,李志坚,刘理天,
来源：半导体学报 年份：2005
介绍了一种K波段双桥结构的电容式RF MEMS开关，该开关的结构特点是，以共面波导上的悬空金属膜为双桥结构，并且膜桥的支撑呈折叠弹簧结构，使用Agilent ADS软件对该开关进行了设计......
[期刊论文] 作者：雷啸锋,刘泽文,宣云,韦嘉,李志坚,刘理天,
来源：电子器件 年份：2005
设计并制作了一种X波段的电容式RF MEMS开关.该开关在共面波导上的悬空金属膜桥的支撑梁呈螺旋结构,其等效电感值高达134 pH,有效降低了'关'态的谐振频率.结合开关的...
[期刊论文] 作者：雷啸锋,刘泽文,宣云,韦嘉,李志坚,刘理天,
来源：清华大学学报（自然科学版） 年份：2004
针对粗糙介质表面造成射频微机械(RF MEMS)开关隔离度衰减的问题,设计了一个双桥电容式RF MEMS开关,分别采用金属Au和Al作为开关的下电极,以SiN作为电容介质制备了样品.微波...
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