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[学位论文] 作者:韩东港, 来源:河北工业大学 年份:2009
本文利用电子束蒸发的方法,以掺杂Mo的In2O3 陶瓷靶为靶材,在普通玻璃衬底上制备了可用于硅薄膜太阳电池的前电极的IMO(In2O3:Mo)透明导电薄膜。研究了衬底温度、氧流量、掺杂...
[学位论文] 作者:韩东港, 来源:河北工业大学 年份:2009
本文利用电子束蒸发的方法,以掺杂Mo的In2O3 陶瓷靶为靶材,在普通玻璃衬底上制备了可用于硅薄膜太阳电池的前电极的IMO(In2O3:Mo)透明导电薄膜。研究了衬底温度、氧流量、掺杂浓度、薄膜厚度、生长速率等沉积条件对IMO 薄膜电学、光学、结构特性的影响。利用四探......
[期刊论文] 作者:韩东港, 陈新亮, 杨瑞霞, 赵颖,, 来源:河北工业大学学报 年份:2010
通过电子束蒸发法制备In2O3:Mo(IMO)薄膜,详细研究了厚度对薄膜光电性能的影响.当薄膜厚度为=35 nm时,XRD谱与SEM图像均证明薄膜基本上处于非晶态(存在少许纳米晶粒),其光学特性优......
[期刊论文] 作者:韩东港,陈新亮,孙建,赵颖,耿新华,, 来源:光电子.激光 年份:2010
利用电子束反应蒸发技术,调制衬底温度200~350℃,详细研究了Mo掺杂In2O3(IMO,In2O3:Mo)薄膜的微观结构以及光电性能的变化。随着衬底温度增加,原子力显微镜(AFM)与扫描电子显微镜(SE......
[期刊论文] 作者:陈新亮,韩东港,孙建,赵颖,耿新华,, 来源:光电子.激光 年份:2009
研究了利用电子束反应蒸发技术梯度速率生长高迁移率In2O3:Mo(IMO)薄膜的微观结构、光学和电学性能。高纯度In2O3:MoO3陶瓷靶和O2作为源材料。首先,利用低沉积速率(约0.01nm/...
[会议论文] 作者:林泉,陈新亮,韩东港,孙建,赵颖,耿新华, 来源:第十一届全国MOCVD学术会议 年份:2010
本文利用MOCVD技术在缓冲层IMO薄膜上生长绒面结构ZnO-TCO薄膜。相比于通常直接生长的ZnO薄膜,IMO缓冲层的应用可有效提高绒面ZnO薄膜晶体质量,薄膜方块电阻可从8Ω降低至6Ω,薄...
[期刊论文] 作者:陈新亮,韩东港,张德坤,孙建,耿新华,赵颖,, 来源:光电子.激光 年份:2011
研究了掺杂剂含量对电子束反应蒸发技术生长掺钼氧化铟(In2O3:Mo,IMO)薄膜的微观结构以及光学和电学性能的影响。采用高纯度In2O3:MoO3陶瓷靶和O2作为源材料。随着MoO3掺杂剂...
[期刊论文] 作者:倪牮,陈新亮,曹丽冉,张建军,薛俊明,孙建,王先宝,韩东港,张德坤,赵颖,耿新华,, 来源:光电子.激光 年份:2010
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,制备n-i-p型非晶硅(a-Si)太阳电池,采用反应热蒸发法制备ITO薄膜作为太阳电池的前电极。通过改变B2H6的掺杂浓度获得了不同...
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