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[期刊论文] 作者：高扬福,宋亦旭,孙晓民,,
来源：物理学报 年份：2014
随着微电子产业的不断发展,刻蚀特征尺度达到纳米级,等离子体刻蚀工艺过程机理研究越来越受到重视.刻蚀表面仿真是研究离子刻蚀特性的重要方法.在离子刻蚀表面仿真中,离子刻...
[期刊论文] 作者：高扬福,孙晓民,宋亦旭,阮聪,,
来源：物理学报 年份：2014
刻蚀表面仿真是研究等离子体刻蚀工艺过程机理的重要手段.在刻蚀表面仿真方法中,刻蚀表面演化模型和离子刻蚀产额模型直接决定了刻蚀表面演化结果.但现有的刻蚀表面演化模型...
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