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[期刊论文] 作者：齐薇佳,鲍敏杭,
来源：复旦学报(自然科学版) 年份：1988
通过对横向电压型压力传感器上电势分布的数值分析得到了在各种器件几何尺寸情况下,电源电压、引出臂和输出电极的短路作用对灵敏度以及线性度的影响,提出了器件几何图形的最...
[期刊论文] 作者：齐薇佳,鲍敏杭,于连忠,
来源：半导体学报 年份：1988
横向电压型压力传感器的几何形状与霍尔器件相同因此也存在有磁敏性.本文用弱场近似的统计理论导出了非均匀掺杂薄层的霍尔电势表式,理论计算与实验结果相当一致.最后,介绍了...
[期刊论文] 作者：鲍敏杭,齐薇佳,王言,
来源：半导体学报 年份：1987
本文报道了制作在(001)硅长方膜中心区域的二组共十种几何设计的横向电压型压力传感器的灵敏度测试分析结果.得到了电源电极短路效应和输出电极短路效应引起的灵敏度几何因子...
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