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[学位论文] 作者：龙会跃,,
来源：国防科学技术大学 年份：2008
快速退火炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键装备。主要用于离子注入后杂质的激活、浅结制作、生长高质量的氧化膜层和金属硅化物合金形成等工艺。随着集成电路工艺...
[期刊论文] 作者：龙会跃,
来源：装备制造技术 年份：2020
采用工控机加PLC控制器结构,设计基于EtherCAT现场总线的PECVD软件系统和整机控制系统,具有工控机主要负责人机界面、数据记录和工厂自动化等功能,PLC控制器负责设备的控制操...
[会议论文] 作者：龙会跃,
来源：第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：1999
讨论了在离子注入机中的束流强度、束径、束发身角等几个参数的测量原量和方法，并简要介绍了已设计过的几种测试装置。...
[期刊论文] 作者：钟新华,龙会跃,,
来源：工业加热 年份：2010
介绍了一种基于DeviceNet现场总线的快速热处理设备控制系统。首先介绍了该系统的硬件构成,本控制系统采用了基于现场总线和模块化设计思想,使得该系统的能够满足快速热处理...
[期刊论文] 作者：龙会跃,李明,郭艳,
来源：太阳能 年份：2021
研究了预热型管式PECVD设备的结构及其对镀膜性能的影响。通过合理利用管式PECVD设备的净化台空间,对常规型管式PECVD设备的整体结构进行了优化设计,增加了具有预热功能的结...
[期刊论文] 作者：龙会跃,李岳,邱小莎,钟新华,,
来源：工业加热 年份：2009
根据快速退火炉加热系统的组成，利用热量传递的基本理论定性地分析了满足热处理工艺指标时加热系统所需的热功率以及影响快速退火系统温度均匀性的因素。在此基础上提出了热源......
[会议论文] 作者：戴习毛;刘恺;伍三忠;龙会跃;,
来源：第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2005
本文介绍一种最新开发应用于100nm大角度离子注入机的长寿命离子源,该离子源最主要特征是采用间热式阴极代替传统的热灯丝阴极发射电子.同时根据工业化离子注入机实用性要求...
[期刊论文] 作者：钟新华,胡振东,龙会跃,袁卫华,
来源：工业加热 年份：2017
提出了一种适应于快速热处量设备(RTP)的温度测量与控制方法。介绍了快速热处理设备工作原理和主要关键技术;针对温度测量与温度控制两大关键技术,提出了先进的解决方案,即一...
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