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[期刊论文] 作者：Ｍ．Ｂｉｅｎｉａｓ,Ｋ．Ｈａｓｃｈｅ,Ｒ．Ｓｅｅｍａｎｎ,Ｋ．Ｔｈｉｅｌｅ,赵克功,高思田,徐毅,
来源：计量学报 年份：2004
本文报导国际上研制的第一台在纳米测量中，在中等测量范围内，具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统、可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜。它的诞生，可使目前用于纳米......
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