搜索筛选:
搜索耗时0.0866秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
类      型:
[期刊论文] 作者:J.Li,A.Groenendyk,A.Fuerst,R.Carey,, 来源:集成电路应用 年份:2004
氮氧化技术使 SiO_2的应用向45nm 节点迈进。氮的引入是一项复杂的工艺,由于这一工艺诱发的界面陷获电荷对栅介质完整性十分关键,因此要求进行严格的控制。Nitrogen oxidat...
相关搜索: