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[期刊论文] 作者:任卫,CHI Dongzhi,
来源:复旦学报:自然科学版 年份:2007
深亚微米尺度(90 nm)下,对在金属Ni膜中加入微量Pt,再经过高温退火形成NiSi.对该固相反应的反应序列进行了研究.研究发现Ni2Si-to-NiSi转变温度由300℃提高到350℃;NiSi-to-NiS...
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