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[期刊论文] 作者：Eckhard Sperschneider,
来源：电子工业专用设备 年份：2003
对X光检测的不同技术在半导体制程上的应用作了详细的介绍;着重讨论了全旋倾斜(off-axis)X射线技术的特点和优势....
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