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[期刊论文] 作者：Henry I.Smith,许义光,,
来源：半导体情报 年份：2004
采用适当的掩模和AZ1350H抗蚀剂,用光刻接触曝光的方法已做出具有4000埃线宽的指状电极的表面声波换能器。曝光时间可在三倍范围变化,这表明:由于衍射引起的线条变宽是受光的...
[期刊论文] 作者：Henry I.Smith,陈恩霖,,
来源：现代雷达 年份：1979
三、刻蝕和剝离大多数表面波器件有金属薄膜的叉指结构。有时电极达几百甚至几千条,而且通常要求线条间不短路。在下节,我们将讨论形成这种金属电极结构的化学腐蚀法、离子...
[期刊论文] 作者：Henry I.Smith old G.Craighead,解思深,
来源：物理 年份：1991
10年前,电子器件的研究和制备刚刚跨入微米的量级.今天,已经在研究100nm尺寸的器件了.从而也就出现了若干新的术语如纳米尺度器件(nanoscale device),纳米制版术(nanolithogr...
[期刊论文] 作者：戴剑锋,王青,李维学,李杨,Henry I.Smith,
来源：2006第五届中国(国际)纳米科技西安研讨会 年份：2006
本文系统地研究了纳米粒子在硅芯片表面的各种附着力,诸如范德瓦耳斯力,塑性形变吸附力,毛细现象凝聚力,静电力和重力附加力,以及高速流体对它的拖动力和提拉力,并简单计算了在各种情况下这些力的大小.介绍了干法清除纳米污染物的几种新方法,如超临界流体清除法......
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