【摘 要】
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三、刻蝕和剝离大多数表面波器件有金属薄膜的叉指结构。有时电极达几百甚至几千条,而且通常要求线条间不短路。在下节,我们将讨论形成这种金属电极结构的化学腐蚀法、离子
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三、刻蝕和剝离大多数表面波器件有金属薄膜的叉指结构。有时电极达几百甚至几千条,而且通常要求线条间不短路。在下节,我们将讨论形成这种金属电极结构的化学腐蚀法、离子轰击刻蚀法和剝离技术等并试图对各种技术的优点作出估价。化学腐蝕 相当于所需金属图形的光致抗蚀图形经曝光和显影后,通常需要烘烤
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