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[期刊论文] 作者：J.M.Pankratz,肖俊良,李浩模,胡成烈,,
来源：半导体情报 年份：2004
业已用自动化电子束曝光机大批量制作微波晶体管(ML-220),在6千兆赫下最小增益为8分贝,最大噪声系数为5.5分贝。本报告讨论了电子束曝光机制作的高性能的 ML-220晶体管及其工...
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