搜索筛选:
搜索耗时6.1531秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
类      型:
[期刊论文] 作者:张发荣,张晓丹,Amanatides E,Mataras D,赵静,赵颖,, 来源:物理学报 年份:2008
采用空间分辨光发射谱和傅里叶变换功率阻抗分析仪研究了衬底偏压和辉光功率对微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体光学与电学特性的影响.研究表明:在交流偏压(AC)、悬浮(floatin...
相关搜索: