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[期刊论文] 作者:K.Setsune,T.Mitsuyu,刘一声, 来源:压电与声光 年份:2004
本文叙述用ZnO膜制作声光布喇格偏转器。单晶ZnO膜是用RF磁控溅射法生长在兰宝石基片上,测得了对波长为0.63μm制导激光束的衰减约1.2dB/cm和对SAW一阶高次模(1st)的机电耦合...
[期刊论文] 作者:K.Setsum,T.Mitsuyu,刘一声, 来源:压电与声光 年份:1985
声表面波(SAW)器件是VHF-UHF频段中信息和传输系统的高性能关键器件.SAW器件用基片材料,包括压电常数和声速大的在蓝宝石上外延生长的ZnO单晶薄膜、温度稳定性好的石英和控制...
[期刊论文] 作者:T.Mitsuyu,O.Yamazaki,杨龙其, 来源:压电与声光 年份:2004
在兰宝石(Al_2O_3)基片上采用ZnO单晶膜已研制成4.4千兆赫SAW滤波器.ZnO膜是用R.F.磁控溅射技术生长的.发现ZnO/Al_2O_3结构的SAW特性与理论值很一致.滤波器系由0.5微米宽的...
[期刊论文] 作者:T.Mitsuyu,S.Ono,K.Wasa,余承杰, 来源:压电与声光 年份:1981
用射频溅射法已在兰宝石的(O001)和(0112)面上外延生长了ZnO单晶薄膜.研究了这些薄膜的晶体结构和电特性.对兰宝石(0112)面上沿ZnO薄膜C轴传播的SAW测量了包括相速度,耦合系...
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