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[期刊论文] 作者：Unger.,P,张博全,
来源：地质科技情报 年份：1992
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[期刊论文] 作者：Unger.,R,阎晓君,
来源：电子工业专用设备 年份：1995
准分子激光步进机在其实用价值方面已达到成熟阶段。本文对大视场大ＮＡ透镜的开开和０．３５μｍ及其以下的成像特征尺寸进行了说明，准分子激光器在其生产性、稳定性、可靠性、安全性和使用......
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