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便携式呼吸机用微压传感器
为战场救护用的便携式呼吸机开发了一种呈程为2kPa的小型微压传感器,为减小尺寸及冲击振动的影响,采用了微机械加工的方形平膜结构和梁膜......
期刊
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呼吸机
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微压传感器
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