微压传感器相关论文
本文概述厚膜力敏传感器的原理和技术特点以及国内外10多年来研究、开发的概况。重点介绍了目前国内厚膜力敏传感器的性能及应用。......
苏通大桥桥位区河床松软覆盖层厚约300m，主桥群桩基础由131根直径2.8m、长117m的钻孔灌注桩组成，桩距与桩径比仅2.29，可能存在的群桩......
薄膜力学性能是当今MEMS技术中一个很重要的参数，对于微结构器件的研究和应用有很大的影响。半个多世纪以来，鼓膜实验(Bulge test)测......
设计并研制了一种新型光纤法布里-珀罗压力传感器,通过光刻、硅片刻蚀、阳极键合等微机电系统技术制作而成,适合恶劣环境下、狭小......
在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中 ,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性 ,使得该工艺用于微压传感器的制造。微压传感......
为了消除轧钢加热炉压阻式微压传感器在其运行状况中受温度因素干扰的影响,采用信息融合技术来进行压力测量过程中的温度补偿,结果......
微压差传感器在工业和民用领域有着广泛的应用。基于前期设计的水平磁性液体微压差传感器结构模型,着重探讨了磁性液体的粘度对该......
该传感器可将被测流体的压力、差压转换成直流电压或直流电流信号。电感式超微压传感器用于净化室、无菌室、药物、微生物实验室等......
本课题采用MEMS技术在SOI片（器件层为n型<100>晶向单晶硅）上设计、制作梁-膜结构的微压传感器,该结构包括弹性元件和敏感元件。弹性......
本文主要介绍摩托车离心式冷却风扇试验台的原理和设置 ,论述了在试验台上测试风扇动力性能的方法以及如何测试和计算冷却风扇在不......
采用硅－硼硅酸盐玻璃静电封接技术、单晶硅微米级减薄技术和金属膜制做技术，设计了一种新型ＳＯＩＭ结构微压传感器，并对其结构、特性和制作过......
在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象......
本文对光导纤维进行了理论分析,并对光导纤维的分类及光纤器件、光导纤维在检测技术应用中的基本形态作了介绍;同时通过实例介绍了......
全球智能化进程的飞速发展,对新一代微传感器系统的研究与开发提出了更高的要求,尤其是高精度高灵敏度微传感器件的研究与开发变得......
基于压阻效应和惠斯通电桥原理,设计了一种压阻式微压传感器;为了增大灵敏度,设计了一种折弯形的压敏电阻。从微压芯片敏感薄膜的......
提出并利用“掩模-无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器,该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力......
研制了一套压电微压传感器的性能测量系统,它采用均匀声腔硅油介质中传播的声波作为压力源,标准传感器和被测传感器同时接收波动声......
<正> 螺旋回转钻机的振动,对钻孔过程、钻机各构件的可靠性和寿命都有着十分不利的影响。对钻机操作人员的健康也有很大危害。降低......
对通常使用的最大起泡法测定液体表面张力的微压计进行改进,选用合适的具有高精度的传感器,同时采用VB设计上位机程序使其可将数据......
以新型的石墨烯材料为压力敏感膜,设计了一种基于法布里-珀罗干涉的光纤微压传感器。利用薄膜光学理论,分析了不同层数石墨烯膜的......
一、引言 目前国内半导体压阻式的微量程压力传感器生产尚未成型,处于研制阶段,主要存在下列问题:1.机械加工不能制造出膜片极薄......
最近,新昌喷灌机厂和南京航空学院联合研制成功具有国内先进水平的微压传感器和柔索张力传感器,并在南京通过国家级鉴定。这两种......
本文给出了采用硅各向异性腐蚀的阳极氧化自动终止技术研制微压方膜、圆膜硅杯的技术方案,讨论了器件表面SiO_2与Al膜厚对微压传感......
古有汉朝开辟的海上丝绸之路促进经济的发展,现有海上运输、客运、旅游等行业迅猛发展.在我国航运业迅猛发展的同时,从而也造成一......
