Ⅲ族相关论文
4分子束外延生长(MBE)采用MOVPE工艺可成功地进行各类Ⅲ族氮化物半导体的生长,但它也有某些不足之处。如由于MOVPE生长温度较高,因此固相析出反应较快......
研制了不同厚度的直径为5-15μm的GaN光学微盘,并 学微盘的显微荧光图像进行了细致观测和数据值采集。结果表明,在同一个GaN外延样品上由于厚度......