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激光对毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源的作用
极紫外光刻技术(EUVL)利用波长为13.5 nm的极紫外(EUV)光源,可以轻松突破30 nm技术节点而实现大规模工业生产。毛细管放电直接将电......
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