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Fe/Si多层膜亚层厚度比对β-FeSi_2薄膜结构和表面形貌的影响
采用射频磁控溅射方法,在Si(111)和石英衬底上制备了Fe/Si亚层厚度比不同的多层膜。多层膜的总厚度为252nm,Fe/Si亚层厚度比分别为1n......
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β-FeSi2薄膜
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亚层厚度比
多层膜
β-FeSi2 thin film quartz substrate sublayer thickness r
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