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亚波长周期介质光栅相关论文
亚波长周期介质光栅的偏振特性的研究
本文为了分析亚波长周期介质光栅的衍射特性,采用FDTD(时域有限差分)方法,在三维直角坐标系下,以30nm为网格大小,PML(完全匹配层)为吸......
学位
时域有限差分
亚波长周期介质光栅
偏振变换
电子束光刻
反应离子束刻蚀
衍射场
偏振
激光器
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