仿真估算相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

仿真估算相关论文

新型谐振式硅微机械加速度计

制作出一种新型结构的谐振式硅微加速度计,其输出频率信号可以克服微机电系统器件输出微弱信号检测的困难.采用双端固定音叉作为谐......

期刊

谐振器加速度测量力学量传感器硅微机械加工加速度计结构设计仿真估算体硅工艺 double-ended tuning fork micro elect

看过本文同时还关注