力学量传感器相关论文
针对叉指式结构论述了硅微加速度计的工作原理,应用有限元方法对体加工的高深宽比器件进行了静力学和动力学分析,分析得到的数据经......
该文介绍了由压电复合材料构成的正交异性力学量传感器构造及传感原理，推导了传感器的传感方程，对器件的动静态特性测定表明，器件对横......
加速度传感器是一种十分重要的力学量传感器,它对于测量和控制对象的运动状态有着非常重要的意义。随着现代科学技术的快速发展,我......
简要介绍了用于苛刻环境条件下的传感器的种类,包括力学量传感器、温度传感器、气体传感器、光纤传感器等;对这类传感器的市场状况......
介绍一种硅应变计，通过使用同种材料、采用两种不同的工艺技术对比试验，测试结果表明，氮化硅钝化技术制造的产品性能优于常规半导体技......
扼要回顾了国内外在声表面波力学量传感器方面一些重要的成就，阐述了声表面波力学量传感器的特点、基本工作原理，简单推导了该传感器......
论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理,应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析,拟合出悬臂梁的长宽厚与......
六、前置放大器电路 1.加速度传感器压电加速度传感器能够产生跟压电元件上施加的加速度成比例的电荷,可认为压电元件是跟电容器并......
制作出一种新型结构的谐振式硅微加速度计,其输出频率信号可以克服微机电系统器件输出微弱信号检测的困难.采用双端固定音叉作为谐......
