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在噪声有源控制、电磁屏蔽效能评估等问题中,对信号传递函数的准确建模是实现控制性能的关键因素。卷积神经网络(CNN)可以多层次提取......
光刻机在集成电路的大规模生产中占有重要地位.掩模台的高速度高精度控制直接决定了芯片制造的线宽及生产效率.本文介绍了运动控制......
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光刻机在集成电路的大规模生产中占有重要地位。掩模台的高速度高精度控制直接决定了芯片制造的线宽及生产效率。本文介绍了运动控......
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