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低压微波放电相关论文
低压微波增强直流溅射放电的等离子体诊断
本文报导在0.005-0.06Pa压强范围内由微波电子回旋共振(ECR)氩等离子体点燃并维持的圆柱形磁控管溅射放电。利用光发射谱、多栅分析器及朗缪尔探针技......
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