直流溅射相关论文
采用直流磁控溅射法制备了ZnO薄膜, 研究了沉积过程中变换氧分压对薄膜光电性能的影响。采用XRD、紫外可见光分光光度计及AFM等方......
本课题介绍了一种不常见的直流溅射法制备纳米薄膜材料的新型方法，即对于不导电的有机小分子物质，通过导电的方式制备成纳米薄膜，即材......
室温下,采用脉冲直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了氧化钒薄膜。研究了脉冲调制功率占空比对薄膜物相、表面形貌、组分和热......
当今世界上主要使用的能源是以煤炭、石油、天然气为主的化石能源,但化石能源存在的污染大、破坏生态环境等问题,使得开发绿色无污......
随着光电子技术和薄膜技术的共同发展,多晶硅锗薄膜日益受到研究者的重视,在光电集成、微电子以及薄膜太阳能电池等领域都渗透着硅......
第二代钇系高温超导带材具有交流损耗低、性价比高以及在磁场下载流能力强等优点,在工业上具有广阔的应用前景,因此成为各国关注的......
探测器及其制造技术广泛地应用于军事、科技、民用等研究领域.随着越来越高的需求和半导体材料制备技术的发展,机械性能好、化学稳......
采用直流溅射并结合热处理工艺制备氧化镍薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDX)考察退火温度对薄膜结构、形貌......
本文研制了一种较高档的磁控溅射镀膜设备,用于微电子器件规模化生产过程中的基片表面镀膜。该设备采用双真空室结构,使溅射室始终......
通过直流溅射法，在硅基底上溅射铜粒子，并以铜粒子为催化剂，氢气为还原气，乙炔为碳源，在管式炉中制备了纳米碳纤维。利用扫描电子显微镜......
采用倒筒式直流溅射结合辐射加热方法对无源微波器件用的Y1 Ba2 Cu3O7-x(YBCO)双面薄膜生长进行了研究 ,实验结果表明 :直流非磁控......
采用直流溅射法,以纯锡为靶材制备出了SnO_2纳米薄膜,并利用X射线衍射仪、透射电镜及台阶仪对纳米薄膜的物相结构及厚度进行了分析......
利用共沉淀法制备了ZnSnO3粉体，通过直流溅射制备了气敏薄膜。研究了老化温度、薄膜的组成对气体的灵敏度影响。实验结果表明1600℃......
利用三极直流溅射方法,采用Sc6WO12＋W靶材研制新型薄膜钪系阴极,研究了这种阴极的发射特性和功函数分布情况,并对发射表面特性进行......
本文详细介绍了长真空管道内表面直流溅射镀TiN膜技术和成膜系统配置。采用真空管道自体真空镀膜方法解决细长管道内表面镀膜问题，......
介绍了对不锈钢管道大面积内壁用直流溅射方法镀TiN薄膜的技术及工艺，并分析了薄膜的相关参数，测试了镀膜管道的真空性能。结果表明，......
利用直流溅射法在Si、Zn、Ni三种不同衬底上沉积HfNxOy薄膜并测试了其场发射性能。扫描电子显微镜（SEM）显示HfNxOy薄膜表面由纳米颗......
利用直流磁控溅射方法制备了非晶氮化镓(a-GaN)薄膜.X射线衍射分析以及傅里叶变换红外吸收谱表明薄膜是非晶结构.通过紫外-可见光......
通过直流溅射法在Co基非晶薄带（Co66Fe4NiSi15B14）上制备不同厚度的CoFe薄膜层，观察其巨磁阻抗（GMI）效应在120kHz-3MHz频率范围内随外加......
本文采用直流溅射法制备了具有一定调制波长的金属多层膜,通过X衍射实验和电镜扫描实验,对其性能进行了测试,并对实验中出现的在特......
CuIn1-xGaxSe2(CIGS)为直接带隙半导体,其带隙宽度随In/Ga比而变化,且对可见光具有很高的吸收系数,是最有希望用于制作新一代高效......
采用直流溅射法,通过调节溅射时间和溅射电流,在玻璃基底上成功制备出不同厚度的透明导电金膜.通过椭圆偏振仪测量了透明导电金膜......
通过直流二极溅射法制备了具有不同调制波长和周期的Al／Pb金属多层膜。分别通过扫描电镜、X-射线衍射试验以及能谱对多层膜的表面形......
采用直流溅射法成功制备出了SnO2纳米颗粒，分析了SnO2纳米颗粒的形成机理，研究了不同溅射时间、不同衬底材质对SnO2纳米颗粒形成的影......
CuIn1-xGaxSe2（CIGS）为直接带隙半导体,其带隙宽度随In/Ga比而变化,且对可见光具有很高的吸收系数,是最有希望用于制作新一代高效、......
介绍一种大功率直流溅射恒流电源的设计。该设计解决了溅射过程中的打火及电流不易控制的问题。经实用证明，该设计达到了预期的效果......
获得性能优越的束流是加速器发展的重要目标。作为束流及其周围真空环境的承载体,加速器真空室材料性能与束流性能密切相关。因此,......
ZnO是一种新兴的的宽禁带半导体材料，相对于传统的宽禁带材料有很多的优势。在相对成本低廉的岛衬底上生长ZnO薄膜是现在攻关的热门......
用直流溅射法制备了厚度从11．9到189．0nm的超薄Ag膜。X射线衍射（XRD）分析表明：样品中的Ag均为面心立方多晶结构，粒径从6.3到14.5nm。通过......
作为光电科技领域重要的光学薄膜材料之一，透明导电薄膜因其对可见光的高透过率（Tavg>80%）和低电阻率（ρ<10-3Ω·cm）的特点，被广泛应用......
在科学研究和生产实践中,以管状工件内表面作为工作面的情形有很多。在管内壁沉积薄膜可以显著改善工件的性能,但是,在长度较长、......
研究了在TFT制备过程中,直流溅射和交流溅射生长铟镓锌氧薄膜对器件的转移特性和栅偏压应力特性的影响。交流溅射生长的IGZO制备的......
在不锈钢管道溅射镀膜装置上，通过对不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜的反复多次实验及对镀膜实验结果的分析，得到了一整套适用于加......
不锈钢和钴铬合金是常用的口腔正畸材料,但是在临床上容易引起使用者过敏以及表面颜色与牙齿色泽差别较大而不雅观。本文通过直流......
本论文对真空蒸发法和直流溅射法沉积锌膜的工艺进行了研究,结合XRD、SEM、AFM等分析手段,以探索这两种方法在制备锌膜方面的一般......
通过调节磁控溅射过程中通入氧气的流量,在二氧化硅基片上制备具有"富氧层+贫氧层"结构的（400）高度择优的ITO薄膜。采用XRD、SEM等对......
SrRuO3（简称SRO）是一种钙钛矿型的导电金属氧化物,室温电阻率约为280μ?-cm,同时还具有高的化学和热稳定性,与目前广泛研究的铁电薄......
