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低温沉积过程相关论文
电子助进化学气相沉积金刚石薄膜动力学过程研究
本论文采用蒙特卡罗(Monte Carlo)数值模拟方法,研究了以CH4/H2为源气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石薄膜的气相动力学过程......
学位
金刚石薄膜
低温沉积过程
光发射过程
气相动力学
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