金刚石薄膜相关论文
目前受控热核聚变能被认为是能够有效解决人类未来能源需求的清洁新能源,燃烧等离子体、托卡马克聚变堆工程技术、聚变堆各类材料......
片内热积累效应严重制约GaN器件向高功率密度应用发展,金刚石钝化散热结构的GaN器件热管控技术已成为目前研究重点,而金刚石栅区高......
近些年来涂层刀具的发展受到了广泛关注,并且在商业中已经得到了广泛应用。因为金刚石的优点甚多,如金刚石具有高硬度、摩擦系数低......
该文提出采用频域光热辐射测量技术(FPTR)对金刚石薄膜的光热特性进行检测.首先,建立调制激光作用于一维有限厚度试件的热波频域响......
期刊
采用热丝化学气相沉积法（HPCVD），以甲烷和氢气为反应气体，在Mo-Re合金箔片（d=6μm）上沉积金刚石薄膜。采用X射线衍射仪（XRD），扫描电子显微镜......
利用原位发射谱技术对热丝化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜生长过程进行了研究.实验表明甲烷浓度对气相基团(如CH,CH和H等)浓度影响很......
利用直流-射频-等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了纳米类金刚石薄膜.采用原子力显微镜、Raman光谱、红外光谱研究了......
本文研究了多孔硅衬底微波CVD金刚石薄膜的制备工艺及场电子发射特性.以多孔硅作为生长金刚石突起阵列的模板,生长出带多微尖的纳......
金刚石薄膜具有一系列优异性能，它具有十分接近天然金刚石的硬度、高的弹性模量、极高的热导率、低的摩擦系数、低热膨胀系数和化学......
CVD金刚石薄膜中存在的晶体学织构导致金刚石薄膜的X射线弹性常数也呈现各向异性。用Voigt、Reuss和Hill模型计算了各向同性和具有......
采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,在较低的反应气体压力下在SiC陶瓷衬底上成功生长出纳米金刚石薄膜.用拉曼光谱对纳米金刚石薄膜......
探测器灵敏度及其能量响应特性在探测器的设计及研制过程中占十分重要的地位。通过模拟计算,得到了CVD金刚石薄膜探测器的灵敏度与......
在本考察了金刚石薄膜的成核密度对其场发射特性的影响，发现较低的成核密度有利于获得较好的发射特性；对发射曲线进行了拟合，并对所得......
本文分析了影响铁基表面沉积金刚石膜的主要因素,讨论了改善膜基结合力的各种表面预处理的方法,介绍了近年来国内外学者在该领域的......
本文研究了金刚石薄膜的场发射特性.从金刚石薄膜自身的角度,研究了不同的晶体结构对场发射的影响;从金刚石薄膜和硅衬底的界面形......
采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟了共面双栅极金刚石薄膜FEAs的特性,在模拟时假设其结构为长条型,得到了该结构的电子轨迹、相空间图......
本文通过在金刚石薄膜表面蒸镀纳米量级金膜作为栅级的方式,在低于10V的电压下观察到金刚石薄膜的场发射,共发射电子的发散角度小......
研究了Ar离子束刻蚀方式、离子束能量、刻蚀时间对抛光金刚石薄膜的影响.采用原子力显微镜观察抛光前后金刚石薄膜表面形貌、测试......
采用扫描电镜(SEM),原子力显微镜(AFM),Raman光谱和X射线光电谱(XPS)研究了硼氧离子共注入对金刚石薄膜微结构的影响.结果表明,硼......
报道了电子轰击化学气相沉积生长表面对纳米金刚石薄膜成核、生长机制及其光电性能的影响关系。研究了电子诱导脱氢对表面生长台阶......
用Raman散射技术分析了能量为170keV的B离子在碳的两种同素异构体C60薄膜和金刚石薄膜中引起的辐照效应,即由晶态向非晶态的转变过......
本研究采用HXD-1000硬度仪对以硅为基底的DLC膜的硬度进行了测量，表明随着压痕对角线长度的增加，基底硅硬度与DLC膜复合硬度是减小的......
本文通过对热丝CVD沉积工艺的研究,分析了不同工艺条件对金刚石薄膜性能的影响,探讨了实用化的在WC-Co硬质合金基体上沉积高附着强......
等离子体发射光谱是探究等离子体参数、等离子体基团分布的有效工具.本文利用发射光谱技术对CH4/H2微波等离子体进行原位在线测量,......
金刚石材料具有优异的光学性能，虽然SiC基CVD金刚石薄膜中不可避免地存在一定缺陷，会影响其光学应用，但是通过薄膜类型优选、工艺优化......
本文主要介绍硼掺杂金刚石膜的生长。采用热灯丝CVD 法在硅上制备了金刚石薄膜，采用三氧化二硼制备了硼掺杂金刚石膜。利用拉曼光谱......
硼掺杂金刚石薄膜电极（BDD）具有良好的导电性，是一种良好的电极材料，由于具有电势窗口宽、背景电流小、有机物易吸附、化学和电化学性......
金刚石薄膜的热学性质的准确测量一直是物理学领域中的研究热点之一.由于传统的接触式测量方法受到材料几何尺寸的限制并不适用,而......
本文用等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ&D)复合强化新技术在AISI1440C不锈钢基体表面合成了无氢类金刚石(α-C)和含氢类金刚石(α-......
采用微波等离子体气相沉积(MPCVD)在商用3 mm×3 mm×1 mm高温高压合成(HPHT)Ib型(100) 金刚石衬底上同质外延生长B掺杂金刚石薄膜......
本文报道热丝化学气相沉积法(HFCVD)生长金刚石薄膜的喇曼散射结果.选取多种峰型,对金刚石薄膜喇曼谱(1100～1800 cm-1)采用最小二乘......
采用微波等离子体化学汽相淀积法，以C60膜为过渡层，在光滑的单晶Si衬底(100)表面和研磨的石英衬底表面等光学衬底上，首次在无衬底负偏......
发射光谱(OES)是对等离子体过程进行检测和诊断最常用的方法，利用等离子体发射光谱，在甲烷/H2/Ar 和丙酮/H2/Ar 两种碳源体系下，对热......
声表面波(SAW)器件由于具有小型化、高可靠、多功能、一致性好等特点，所以它在雷达、电子战、声纳、无线通信、光纤通信及广播电视......
采用常规方法制备截面样品，利用透射电镜(TEM)对不同合金基体与薄膜的界面结构进行了细致的研究，探讨Al对金刚石薄膜生成的促进......
在微波等离子体化学气相沉积(MWP-CVD)系统中进行金刚石薄膜的生长之前,对光滑硅衬底分别进行了超微纳主金刚石粉的涂覆预处理和数......
本文研究了用近平行的入射X射线,以掠入射的方式,对在Mo基体上生长的金刚石薄膜及其过渡层的物相进行了分析,建立了一种薄膜及过渡......
以在半透明金膜上生长的微晶金刚石薄膜作为空穴传导层，得到了以８－羟基喹啉铝（Ａｌｑ３）为发光材料的有机薄膜的电致发光，对器件的电流－电压特性，电......
提出了一种新颖的多孔硅表面钝化技术，即采用微波等离子体辅助的化学气相沉积（MPCVD）方法在多孔硅上沉积金刚石薄膜。采用原子力显微......
本文利用软压头技术，探讨了金刚石薄膜材料在点接触加载条件下的破坏形式以及外加应力与薄膜破坏之间的关系。......
1.概述本文介绍一种最近盛行起来的在常压下对材料表面进行等离子处理的方法,以前这种等离子处理是在低压下进行的。为满足印刷、......
化工系无机材料研究室冉均国,郑昌琼、尹光福、芶清泉研究成功透红外性能好硬度高、耐腐蚀性强和生物性能良好的大直径金刚石薄膜......
等离子体化学是在等离子体物理学的基础上发展而形成的一门新兴学科。由于等离子体化学反应与已实现工业化的一些高温化学反应、光......
中国第一次举办的国际材料研究讨论会议(C—MRS 90′)于1990年6月18至22日在北京举行。这次材料科学的国际盛会,有700多位国内外......
理论研究和数值模拟高加载率条件!:LY12铝合金损伤断裂现象的研究······························......
美国炭素材料的基础研究普遍注重于纤维和复合材料。在19届双年度炭会议(1988年)上,发表的大约350篇文章中,将近45%的文章来自美......
