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低能离子源相关论文
一个光学镀膜用低能离子枪的特性
该文介绍了一个单栅宽束低能离子源、离子束在50mm范围内,离子束引出电压0~1000V时,离子束流密度可达0~60μA/cm[**],这对离子束辅助光......
会议
光学镀膜
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宽束
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