离子束流密度相关论文
目的 检验熔石英光学元件表面离子束抛光过程中去除函数的稳定性.方法 对离子束进行法拉第扫描来获取束流密度信息,构建离子束抛光......
采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击.随着注入离子束流密度的不同,形成的锆氧化物薄膜从非晶向晶态转化.形成的晶态薄膜......
该文介绍了一个单栅宽束低能离子源、离子束在50mm范围内,离子束引出电压0~1000V时,离子束流密度可达0~60μA/cm[**],这对离子束辅助光......
本文围绕离子束技术在高功率激光薄膜制备中的应用,以“认识离子束技术、研究和使用离子束技术”为线索展开。 本文首先介绍了不......
介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的改进的宽束冷阴极离子源,详细叙述了该源的工作原理和放电过程,并对离子源的工作特性进行了......
磁控溅射镀膜技术由于具有显著的优点而得到了广泛的应用.磁控溅射离子束流密度的大小及分布状况,直接决定着薄膜质量的优劣.本文......
二次离子质谱仪作为一种强大的表面分析工具,在表面分析领域有着非常广泛的应用。本文报道了一种用于二次离子质谱仪的一次离子光......
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采用五栅网离子能量测量装置和法拉第筒测量了宽束冷阴极离子源的离子能量和离子束流密度.当Ar气流量为20sccm,在不同的放电电压和引......
【正】薄膜镀制是固态的膜层材料在真空条件下蒸发或者溅射,经过气相传输,在基片表面沉积成薄膜。相同的薄膜设计,因操作人员、时......
该成果为一种能够产生单一离子能量的,同时发散角可以根据实际需要进行调节,且在发散角内离子束流密度均匀一致的离子源。主要包括......
测量了End-Hall离子源在不同条件下的离子束流密度,在不同离子束流密度下进行了Ar离子辅助沉积ZrO2薄膜的实验,研究了离子束流密度......