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侧壁晶面夹角相关论文

含IPA的TMAH溶液对湿法腐蚀硅倒金字塔阵列微观形貌演化的研究

采用含异丙醇(IPA)的TMAH溶液腐蚀经Si_3N_4掩膜形成10μm×10μm窗口的单晶硅片。在硅片表面得到了内壁光滑的倒金字塔V型口阵列.......

期刊

倒金字塔 IPA TMAH 材料表面与界面湿法腐蚀 TMAH溶液侧壁晶面夹角各向异性因子阵列侧壁

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