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基于中介层散射原理的共焦显微测量技术及理论研究
随着超精密加工工艺水平的不断提升,元件表面的加工精度不断提高,复杂微观结构和宏观自由曲面的加工技术逐渐成熟,同时对相应的测......
学位
共焦显微技术
中介层散射
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物理气相沉积
共焦峰值定位
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