物理气相沉积相关论文
目前市面上的传感器应用大多是分立式,且无法于一些苛刻环境中使役。温度、压力是制造业生产过程中最需要实时监测的两种属性,为了......
叙述了用物理气相沉积技术制备的硬质耐腐蚀磨损防护涂层的研究进展。重点介绍了腐蚀磨损耦合工况特性和作用机理,单元、多元掺杂氮......
GaN基半导体材料的禁带宽度覆盖了整个可见光波段,且其具有优良的物理化学特性,其因而被广泛应用于光电子器件、电力电子器件及射......
一项技术应用的热度和广度,与其本身的技术优势、成熟度、适用性等密切相关。本文以文献数据可视化为手段对真空镀膜技术在世界范围......
非线性光学是一类独特的光学分支,它通常发生于强光场与材料相互作用的情况。二次谐波(Second harmonic generation,SHG),也称倍频效......
光致发光材料在全固态紧凑型激光器、三维立体显示、红外量子计数器、温度探测器、生物分子的荧光探针、光学存储等领域有着十分广......
热障涂层(Thermal Barrier Coatings,简称TBCs)是具有足够厚度与耐用性的隔热材料。TBCs应用环境复杂,外部会承受高温、腐蚀和高压负......
随着物联网的不断发展,数据吞吐量急剧增加,系统对存储器性能的要求日益提高。基于低维功能材料的纳米器件可极大地缩小器件尺寸,......
静电卡盘被广泛用作物理气相沉积晶圆承载台.静电卡盘可利用静电吸力将晶圆固定在静电卡盘上防止晶圆在工艺过程中出现位置偏移.在......
随着钢铁行业的发展以及汽车轻量化的推广,先进高强钢(AHSS)的应用日益广泛,但是,AHSS在使用过程中容易出现腐蚀,需要在其表面涂镀......
New or optimized-mixed evaporation materials of PIZOLIN, ALVIRIT, ROMA, and TiO53[1] on the basis of high-index pure sub......
氮化钛薄膜(Titanium nitride,TiN)作为硬质薄膜的一种,具有较高的硬度、好的膜基结合力、涂层装饰性强等优点在刀具、精密零部件和......
物理气相沉积是改善机械零部件表面摩擦学性能的重要表面工程技术。本文针对切削刀具的高温磨损问题采用阴极电弧离子镀法制备了Cr......
科学技术的发展已允许人们在物件表面上覆盖一至数层另一些材料的薄层,从而显著改善它们的性能以满足各种使用要求.物理气相沉积(P......
近日,应用材料宣布推出Endura Volta化学气相沉积(CVD)钴金属系统,藉由钴金属来包覆铜导线,提供半导体厂快速抢进20纳米以下先进制......
Fe基非晶块体合金由于其优异的性能(屈服强度、硬度、耐磨损和耐腐蚀等)及低成本受到广泛关注,然而,由于其较差的塑性及成型能力,限......
随着“中国制造2025”绿色制造概念的提出,干式加工已成为未来的重要材料成型方式。在干式切削加工过程中,大量热量堆积在刀尖部,......
表面镀膜技术已广泛应用于表面防护、加工制造、半导体、光学器件、装饰等行业。本文通过物理气相沉积(PVD)技术沉积氮化物纳米多......
本课题以Ti、Si、N三种粒子共沉积形成的纳米复合硬质薄膜为研究对象,初步尝试用计算机来模拟在单质Ti薄膜和Ti-Si-N三元薄膜生长过......
齿轮传动是机器设备和机械装备中应用最为广泛的动力和传动形式之一。随着现代科学技术的发展,人们对齿轮副提出了满足极端苛刻的......
硬X射线相位衬度成像是一门极具前景的新技术,主要用于观察弱吸收材料内部的精细结构,同传统的吸收成像不同,它提取结构细节信息不依......
随着汽车工业的迅速发展,相应的汽车配套零部件的需求也在日益增加,其中,汽车冷冲件的质量和成本在很大程度上取决于模具的质量和寿命......
Ni基钎料的熔点较高,长时间处于高温环境下的金刚石磨料有产生热损伤的危险,为了提高金刚石表面浸润性,减轻其表面的热损伤和增强......
镁合金作为地球上含量丰富的资源,由于其密度小、比强度高、导电和电热性良好等优点,广泛应用于航空航天、军工、电子产品等领域。不......
基于半导体掺杂纳米结构能有效地改变半导体材料的电学、光学和磁学特性,近年来在制备与性能表征等方面的研究越来越被关注,其应用价......
该论文基于三方硒具有低的熔点、高的蒸汽压这些物理特性以及它们的晶体结构由无限平行于c轴的螺旋链构成这种结构特点,通过直接的......
在金属材料基体表面上制备超疏水且防腐蚀的表面是一种绿色、环保的防腐蚀技术,超疏水表面具有超疏水、自清洁、低粘附、防覆冰、......
本论文首先综合描述TiAlN薄膜及TiAlN基硬质薄膜的发展历程,TiAlN薄膜及TiAlN基硬质薄膜的结构特征、性能及其应用。简单介绍了物......
在大量试验的基础上,总结了磁控溅射中海绵的传动特性,设计了微张力海绵卷绕系统,建立了传动控制的数学模型.经大量试验和使用证明......
为满足各技术领域的要求,硬质薄膜业近年来得到了广泛的发展和应用.本文介绍了硬质薄膜技术的最新发展状况,阐述了各技术的特点和......
为了研制高激光性能紫外增透膜,分别使用HfO2/SiO2和Al2O3/MgF2两种高低折射率材料组合,采用物理气相沉积技术,设计制备了266 nm增......
锌合金镀层由于具有较强的耐腐蚀性能而得到广泛的关注,特别是Zn-Mg合金镀层,其耐腐蚀性能能得到显著提高.采用气相沉积方法制备不......
在粗加工中的优势rn1.比厚更厚——Hyperlox Plus (6~8μm)刀片专用加厚涂层rn有时候,更厚意味着更好.刀片集高效、经济于一身,它们......
涂层技术在西方发达国家从20世纪70年代就开始应用于工业生产,被广泛地应用于切削刀具、成型模具、汽车零部件及工业零部件上,在提......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
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1PVD工艺及设备如今很多的塑料零件都穿上了漂亮的金属外衣,而实现这种功能的方法就是物理气相沉积金属化工艺,简称PVD。简而言之,......
一、主要技术内容rn该成果利用等离子体的激发作用把传统的化学气相沉积(CVD)温度由1000℃左右降到550℃左右.这就使等离子体化学......
通过控制加热温度,采用物理气相沉积(PVD)技术制备了新型有机非线性光学材料L-苹果酸脲(ULMA)的晶体薄膜,该薄膜保持了晶体良好的......