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准分子激光沉积(Ba1—xSrx)TiO3铁电薄膜
通过准分子 (30 8mm)激光将 (Ba1-xSrx)TiO3(BST)薄膜剥离沉积在Si(1 0 0 )基片上 .随着沉积温度的增加 ,BST薄膜的结晶性显著提高......
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准分子激光沉积
(Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3 thin film DRAM excimer laser dielectri
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