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刻蚀深度分布相关论文

取样光栅的刻蚀深度空间分布微调方法

研究工作主要可概括为两个部分：其一,刻蚀深度分布微调方法的理论研究和实验验证；其二,变束斑离子束修形方法的理论研究和模拟分析。......

学位

刻蚀深度分布取样光栅衍射效率均匀性扫描离子束刻蚀遮挡时间优化算法离子束修形积分刻蚀时间变束斑

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