衍射效率均匀性相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

衍射效率均匀性相关论文

取样光栅的刻蚀深度空间分布微调方法

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刻蚀深度分布取样光栅衍射效率均匀性扫描离子束刻蚀遮挡时间优化算法离子束修形积分刻蚀时间变束斑

微结构光学表面纳米/亚纳米尺度超精密加工工艺研究

取样光栅是超强超快激光研究中，对强激光能量进行分束取样测量的最有效手段。取样光栅衍射效率均匀性RMS是衡量其优劣的重要指标。......

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取样光栅衍射效率均匀性微结构表面柔性纳米亚纳米尺度超精密研磨

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