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刻蚀设备耗材相关论文
40nm节点高深宽比接触孔刻蚀电性能稳定性改善
随着工艺节点减小,对高深宽比接触孔形貌和关键尺寸的精准控制变得愈加困难。基于40 nm逻辑器件量产数据,研究了高深宽比接触孔刻......
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高深宽比
接触孔刻蚀
侧壁形貌
刻蚀选择比
接触电阻
刻蚀设备耗材
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