化学增幅抗蚀相关硕士博士期刊学术论文

基于自催化酸解反应的酸增殖是新的提高成像灵敏度的方法.目前发现有实用价值的酸增殖剂绝大多数为磺酸酯类化合物.本文详细介绍了......