酸增殖剂相关论文
本文对化学增幅抗蚀剂体系的组成及化学增幅作用做了说明.介绍了化学增幅作用中的关键组分-光产酸源和酸增殖剂的发展概况.并对重......
用过氧化氢氧化烯烃得到顺式邻环己二醇,继而和对甲苯磺酰氯反应得到两种1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯.以溴酚兰作指示剂,用......
本文综述了能有效提高化学增幅抗蚀剂体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理.对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了......
以间苯二酚为原料,分别与正十一醛和月桂醛,在盐酸、乙醇回流条件下进行缩合成环反应,得到中间体杯[4]间苯二酚芳烃衍生物;中间体......
微量的酸种(如光照产生的强酸)可通过酸底物的自催化分解反应产生大量的酸,使得酸催化反应的速率呈非线性增长。这样的酸底物被称......
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